泉州半導(dǎo)體真空泵-廈門太星機(jī)電(在線咨詢)-半導(dǎo)體真空泵系統(tǒng)

廈門太星機(jī)電有限公司擁有十多年真空行業(yè)經(jīng)驗(yàn)和銷售及維修工程師團(tuán)隊(duì)組成，公司提供國(guó)外及國(guó)內(nèi)廠家生產(chǎn)的真空泵，檢漏儀，分子泵，擴(kuò)散泵，水環(huán)真空泵，螺桿真空泵，羅茨泵，真空測(cè)量，真空泵油及其備品備件。

高真空油擴(kuò)散泵是一種蒸氣射流泵，其工作原理是把工作介質(zhì)(擴(kuò)散泵油)的動(dòng)能在抽氣方向上傳給被抽氣體來作為基礎(chǔ)的。擴(kuò)散泵的抽氣過程是被抽氣體擴(kuò)散到油蒸氣射流中而被攜帶到泵出口排除的過程。其工作極限真空度在10-2~10-5 Pa范圍內(nèi)。應(yīng)用在設(shè)備上的擴(kuò)散泵工作范圍在10-2~10-4 Pa范圍內(nèi)。

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鍋爐內(nèi)泵油的不穩(wěn)定沸騰，會(huì)使噴出的蒸汽射流的密度波動(dòng)，從而引起抽速和輕氣體壓縮比的變化。鍋爐可能一時(shí)過熱，使之有一段爆沸的時(shí)間，其補(bǔ)救的辦法是在現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵中采用有翼片的鍋爐，增加內(nèi)表面積，降低熱流密度，增加功率能使爆沸減低到小或消除。在真空中，強(qiáng)力的爆沸，會(huì)引起自爆升騰，對(duì)噴咀，引起瞬間堵塞，造成汽流波動(dòng)。泵內(nèi)加防爆板可以防止爆沸的影響，因?qū)p氣體壓縮比低，可引起壓力的不穩(wěn)定，增加功率和泵的級(jí)數(shù)是有利的。在擴(kuò)散泵中設(shè)置側(cè)面出口噴射噴咀和擴(kuò)壓器，可使擴(kuò)散泵這種不穩(wěn)定性減至小。頂噴咀帽過冷也會(huì)引起蒸汽流不連續(xù)，導(dǎo)致壓力的不穩(wěn)定。設(shè)法保持頂噴咀的溫度不降，不使其過冷。來自橡膠密封的氣泡，有時(shí)油捕集氣體，通過密封膠圈滲透放出，因氣泡有一定壓力使油膜后進(jìn)入系統(tǒng)中。密封槽內(nèi)集存的泵油應(yīng)能排出，可使不穩(wěn)定減少，若用金屬墊圈就更好了。設(shè)計(jì)良好的冷帽能防止油滴落到頂噴咀的熱表面上蒸發(fā)。在用碳?xì)浠衔锉糜蜁r(shí)，操作不當(dāng)，擴(kuò)散泵系統(tǒng)有發(fā)生的危險(xiǎn)。大多數(shù)情況下規(guī)管的燈絲就是點(diǎn)火源。泵的日常操作要規(guī)范，定期檢查泵油的質(zhì)和量。

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現(xiàn)代的油擴(kuò)散泵在泵入口處，泵油的返流已降至大約室溫下泵油蒸發(fā)速率的水平。

只有在使用時(shí)遵守一定的操作規(guī)程，才能保證系統(tǒng)的正常工作。前已詳細(xì)敘述過有關(guān)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵的操作規(guī)程。經(jīng)人們生產(chǎn)實(shí)踐，對(duì)排氣系統(tǒng)，也同樣總結(jié)出來一套操作規(guī)程。以高真空排氣系統(tǒng)為例（其他真空設(shè)備可仿照施行），其操作規(guī)程如下：①檢查真空系統(tǒng)各部分，熟悉系統(tǒng)的氣路結(jié)構(gòu)，了解真空系統(tǒng)各元件的作用以及操作部分的電路聯(lián)接。②關(guān)閉放氣閥門，啟動(dòng)機(jī)械泵，對(duì)系統(tǒng)進(jìn)行抽氣，并隨時(shí)用火花檢漏器對(duì)系統(tǒng)各部分進(jìn)行檢漏。如系全金屬系統(tǒng)，則可關(guān)閉閥門，用真空計(jì)讀數(shù)記下P-t曲線（作靜態(tài)升壓試驗(yàn)）。如壓強(qiáng)隨時(shí)間呈直線上升，可斷定系統(tǒng)有漏氣源，應(yīng)進(jìn)行檢漏。③當(dāng)系統(tǒng)真空度達(dá)到油擴(kuò)散泵的前置壓強(qiáng)（5×10-2托）后，啟動(dòng)擴(kuò)散泵，使加熱電流逐漸升到額定（佳）值。在啟動(dòng)擴(kuò)散泵前，必須先開冷卻水。④擴(kuò)散泵正常工作后，用火花檢漏器（或熱偶計(jì)）判斷量測(cè)系統(tǒng)的真空度。到10-3托以上（熱偶計(jì)近滿偏或95格以上）才能使用電離真空計(jì)。使用時(shí)先對(duì)規(guī)管除氣，后測(cè)量真空度。